让汪莱安排多组人员分头去攻关这些技术。
首先提出步进式光刻机的设计逻辑,提出微缩光刻的技术方向。
原有的光刻工艺中,物理机械手段直接生产的电路板的母版,其精度是有其极限同时也相对不容易提升的。
但是可以通过曲面透镜投影缩放的方式,照着大模板来生产更小的芯片。
要求光学厂商配合研发更高精度的镜头。
然后直接提出浸润式光刻技术的逻辑,让工匠从一开始就直接去走浸润式光刻的方向。
按照光刻机的逻辑,光源的波长越短,就能够生产出制程越小的芯片。
但是又不能无限短,最短的x射线会直接穿过物体,导致无法通过透镜和反射来缩放图纸。
只能在工艺水平大幅度提升后,用在少数有特殊需求的半导体产品上。
常规光源的升级过程,就是不断地寻找无限接近x射线,但是又不能出现x射线现象的光源的过程。
最早的光刻机光源是可见的蓝光,波长是450纳米,实现了微米级的工艺。
在微缩光刻时代,迅速转入不可见的紫外光时代。
波长降低到了365纳米,实现了800纳米到280纳米的工艺。
之后很长的一段时间内,就是在紫外光的范围内,持续不断地缩短波长。
直到波长为193纳米的节点的时候,已经可以用来生产280纳米到65纳米制程芯片了。
如果按照这个方向继续下去,本来应该去寻找波长157纳米的光源,开始生产45纳米及以下的芯片。
但是当时的光源开发公司,在研制波长157纳米的光源时遇到了困难,或者说是瓶颈。
当时的光刻机产业的领头羊尼康在157纳米光源上头铁了很久。
而台积电的林本坚发现了另外一个方向。
光进入水中时会发生折射,光源的波长也会有相应的缩短。
所以193纳米的光穿过一层水之后,就有了等效于134纳米波长光源的效果。
于是,台积电和阿斯麦尔合作,以林本坚提出的方向为目标,研发出了浸润式光刻机。
意思就是泡在水里面光刻。
继续使用193纳米的光源,推动芯片制程从45纳米继续上升,最终的极限做到了7纳米工艺。
直到深入5纳米制程范围的时候,193纳米的深紫外光源才彻底走到了尽头。
半导体产业不得不尝试更换波长135纳米的极紫外光源。
所以对于大明而言,当然可以尽快用攻关浸润式光刻技术,但是在新光源的研究上也要不断努力。
另外,前世所有用过的已经成功的路,当然是已经确定可行的路。
前世没有采用的道路,也未必是不可行的。
以现在大明的资源,对于后世出现过其他方案,也可以让工部有选择尝试。
说不定能够实现比原有道路更好的效果呢?
比如说“同步辐射光源”设施,本身作为一个其他方面的科研设施,其原理使得其能放出各种波长的光。
包括最为接近x光的“极紫外光”。
实际上,历史上早期的光刻机技术验证,也曾经用过同步辐射光源去做研究和验证。
但是同步辐射光源的性质注定了难以商业化。
大明这边也可以尝试,建设大规模的同步辐射光源,在它的基础和原理上讨论,各种光源和光刻的可行性。
同时它也可以继续作为科研设备持续运转。
还有其他的更加具体的细节,比如提升性能的铜导线工艺,提升效率的双件工作台设计等等。
朱靖垣把自己能想到的都依次列举出来,作为自己的不确定的设想。
让工部和半导体司安排人员去做攻关和验证。
在这样的基础上,朱靖垣对工部、半导体司、工匠们提出了更加具体的研发目标。
首先是最重要和最核心的工艺制程和中央处理器。
两年之内完成一微米工艺的普及和量产,同时完成下一代的通用微处理器的开发。
新处理的性能目标是每秒计算次数不低于一千万次。
最好是达到每秒五千万次,也就是接近于386甚至486,或者是第一代ps游戏机的水平。